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硅烷電子混合氣 SiH4/N2(H2、He、Ar)
產品包裝說明
硅烷電子混合氣 SiH4/N2（H2、He、Ar）包裝鋼瓶使用經過內壁鏡面拋光、鈍化處理的碳鋼瓶；
包裝鋼瓶閥門使用進口CGA-350/632閥門
包裝鋼瓶執行DOT標準，容積47L/10L；
產品充裝壓力：1500psig（21.1℃）
硅烷電子混合氣 SiH4/N2（H2、He、Ar）具體指標
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